光源

5KW短弧灯，配平行光灯组

照度分布

＞85％（510×610mm）

平行半角

<1.5^。

倾斜角

<1.5^。

工作范围

250×250～510×610mm,t=0.1~2mm

 定位方式

CCD LENS×2轮廓影像处理

定位精度

±5um~±10um根据基板条件

电源

3Φ,220V/380V,50/60HZ,20KVA

空压量

0.5mpa以上，100L/min

冷却水

8～12℃,60L/min