光源 | 5KW短弧灯,配平行光灯组 |
照度分布 | >85%(510×610mm) |
平行半角 | <1.5。 |
倾斜角 | <1.5。 |
工作范围 | 250×250~510× |
定位方式 | CCD LENS×2轮廓影像处理 |
定位精度 | ±5um~±10um根据基板条件 |
电源 | 3Φ,220V/380V,50/60HZ,20KVA |
空压量 | 0.5mpa以上, |
冷却水 | 8~ |