无油螺杆真空泵是利用一对螺杆，在主机腔体中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在腔体中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此真空泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，无油螺杆真空泵能抽除含有水蒸汽及粉尘等固体颗粒的气体场合，极限真空高，消耗功率更低，具有节能、维修便捷等优点。
目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，大量的有油真空系统已被清洁无油的真空系统所代替。各品牌真空设备厂家都已研发出各种不同型式的无油真空泵产品。
无油螺杆真空泵是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用，并逐渐经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业*真空获得设备。日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的引入生产，在化工制药等行业得到很好的应用。但到目前为止，螺杆真空泵的市场仍旧为国外品牌所占据。
无油螺杆真空泵的应用是广泛的，如：
1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。
2、半导体刻蚀、CVD、PVD工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外。
4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用无油真空泵。
5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
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