普诺克真空系统

您需要真空产品吗？东莞市普诺克真空科技有限公司为您提供全系列真空泵产品及定制化的普诺克真空系统解决方法。普诺克公司已为比亚迪、富士康集团、格力电器、无穷食品、美赞臣等企业提供真空设备。

真空系统的系统附加配件：

1.细菌过滤器

2.附加消音

3.真空开关

4.真空表

5.可遥控操作

​的产品特性：

1.真空度高、性能稳定、寿命长

2.流量：4-1300m3/hr（单台泵）

3.真空使用范围：0.5-500mbar（压力）

4.无需接入水源

5.结构紧凑，占地面积少

6.操作简单维护方便，噪音少

7.可实现多台机组PLC联控

8.可连接GDMS系统

9.符合欧洲CE EN737-3标准

降低​漏气率的措施：

1.真空系统的结构

真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。

（1）尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。

（2）抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但要考虑清洗清扫的方便性。

（3）认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。

（4）打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。

（5）尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。

2.密封形式的选择

密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式，对于人工晶体生长设备，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例，我们选择磁性流体密封作为旋转动密封，选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封，小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封，各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式，直径压缩比为25％。

密封件材质的选用：真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度zui高可达2300℃，密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。

用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。

3.静密封结构的选择

各种真空系统中，80%以上的密封为静密封，静密封效果的好坏，对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此，要对静密封结构进行认真设计，以达到理想的效果。

对静密封结构的设计，主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。

无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽，其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面，而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时，为了消除残留气体，在存在残留气体处设计了贯通孔，使系统内部各处畅通无阻。