VEGA 3 XMH-电子显微镜（钨灯丝扫描电镜）-上海百贺仪器科技有限公司

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产品型号VEGA 3 XMH

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厂商性质其他

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更新时间：2023-09-12 09:43:39浏览次数：166次

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VEGA 3 XMH

分辨率高真空模式(二次电子) 低真空(背散射电子)	3.0nm(30kV),8.0nm(3kV) -
工作真空高真空模式低真空模式	＜9×10^-3Pa -
电子光学工作模式	分辨率/景深/视野/大视野/摇摆电子束
放大倍率	3x-1,000,000x
加速电压	200V至30KV
电子枪	钨灯丝
探针电流	1pA至2μA
扫描速度	从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
聚焦窗口	形状、尺寸和位置连续可调
扫描特性	动态聚焦，点和线扫描，倾斜校正，3D Beam
图象尺寸	可达8192×8192象素，可单独调整为动态图象（4种）和存档的图象（10种），图象比例可选1：1、4：3或2：1
显微镜控制	通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在Windows^TM平台下实现
自动程序	真空控制，灯丝加热，电子枪合轴，扫描模式对中，加速电压改变的补偿，化束斑大小和探针电流，化放大倍率和束斑大小，扫描速度，亮度和对比度，聚焦和消像散，灰阶观察表格.
远程控制	通过TCP/IP

样品室

样品载台

类型	全电脑化优中心
移动范围	X=130mm —— 马达驱动 Y=130mm ——马达驱动 Z=100mm —— 马达驱动旋转：360°连续可调——马达驱动倾斜：-20°到+90°——马达驱动
样品高度	143mm

软件

测量软件

图象操作

图象处理

3D扫描

硬度

多图校正

目标面积

打印放大倍率

关机定时器

公差

形态

颗粒度分析

自动抓图

图象观测

电子束写入

鼠标连接

●

○

●标配 ○选配

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