一、 说明及注意事项:
1、 净化器气体流量1liter/min
2、 净化器入口气体的纯度要求大于99.999%
3、 净化器入口气体压力不得大于1.0Mpa
4、 净化器两端堵头螺帽在使用前不能松动,以防空气从两端扩散到净化管内部
5、 安装使用前熟悉安装程序,并按要求做好准备工作。
二、 安装程序:
1、 将两根配管中的一根与气源连好,并用惰性气体小气流吹扫净化器内和减压器的空气,用专用检漏液检查所有接头是否漏气。
2、 调节气体流量在100ml/min吹扫净化器3个小时后接通电源适配器的电源,此时净化器的出口气体排入大气中。
3、 通电过程中切不可断开气源或者使空气进入净化器内(即使很少量的空气也不允许),电源接通8小时后将净化器出口接入到超纯气体使用设备并检查接口是否泄露。
三、 其他注意事项:
1、 净化后的气体与用气系统的连接,不得用各种橡皮管或聚乙烯管,因为这些材料的管壁都渗透气体分子,使净化好的气体二次污染,降低净化效果。
2、 如果需要停用,需要先断开电源适配器的电源,并保持供气超过3个小时,待净化器内温度降下后方可关闭气源,停气后用专用接头堵住净化器的进出口防止空气扩散到净化器 内。