产品简介
喷淋式显影机(WH-PXY-01)是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品,针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的,可以对5英寸以下规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节,克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控,上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。
技术参数
²转速:0~400RPM;
²液量控制:10~500mL;
²适配硅片/芯片:3寸、4寸、5寸;
²显影时间:0~900s;
²进液速度:0~99%;
²电源输入:AC220V±10V/50HZ;
²功率:100W;
²重量:20 kg;
²外形尺寸:410(W)* 410(D)* 350(H)mm;
²工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %;
特征图解
特征图解1
特征图解2
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