一、概述
不锈钢硅烷尾气净化装置（不锈钢硅烷燃烧塔）是处理太阳能电池行业生产工艺中产生的硅烷尾气的新型环保设备。该净化设备由 CWR 型不锈钢硅烷尾气燃烧筒和 CWJ 型不锈钢硅烷尾气净化塔两部分组成。该装置具有耐腐蚀、高强度、安全可靠、净化效率高等特点。
二、工作原理
根据硅烷尾气与空气接触而自燃的特点，生产工艺中产生的硅烷尾气由管道进入 CWR 型不锈钢硅烷尾气燃烧筒进行燃烧处理，经过燃烧筒处理的尾气再由管道进入 CWJ 型不锈钢硅烷尾气净化塔进行二次净化处理。首*入净化塔的喷淋室进行一次喷淋处理再穿过填料层进入第二次喷雾处理，使尾气与中和循环液进行充分的逆向接触反应，然后通过脱液处理后由抽风机排出。
该设备采用二台水泵分别在二个喷淋室进行喷淋吸收，水泵-1损坏时即启动应急补水阀进行喷淋。采用二台风机(一用一备)进行抽风，并配有调节阀控制流量。
三、规格与性能
CWJ型不锈钢硅烷尾气净化塔规格性能表
| 型号/参数 | 净化塔 | 配GBF4-72风机二台 | 选配水泵二台 | 净化塔外形尺寸 | ||||||
| 流量 m 3 /h | 阻力 Pa | 型号 | 电机功率 kw | 转数 转/分 | 型号 | 电机功率 kw | 长×宽×高 mm | 进气管 根 | 排风管 mm | |
| CWJ-1 | 600-1200 | 400 | No 5A | 2.2 | 1450 | FYS-50 | 4 | 2000×1600×2500 | DN65 1-6 | Ф400 |
| CWJ-2 | 1500-3000 | 400 | No 5A | 2.2 | 1450 | FYS-50 | 4 | 2800×2000×2500 | DN65 8-12 | Ф400 |
| CWJ-3 | 8000-12000 | 400 | No 6A | 4.0 | 1450 | FYS-65 | 5.5 | 3900×2550×2500 | DN65 16-20 | Ф450 |
CWR型不锈钢硅烷尾气燃烧筒规格性能表
| 型号 | CWR-1型 | CWR-2型 | CWR-3型 | CWR-4型 |
| 外径（mm) | 300 | 500 | 600 | 800 |
| 高度（mm) | 1800 | 2040 | 2050 | 2100 |
| 进气口数量 | DN65×1 | DN65×2 | DN65×3 | DN65×4 |
| 排气口数量 | DN65×1 | DN65×2 | DN65×3 | DN195×1 |
| 压缩空气进气量（L/min) | 250 | 400 | 500 | 600 |
| 氮气补气量（L/min) | 200 | 250 | 250 | 250 |
四、流程图
五、基础图
1 ．基础材料150#混凝土，预埋钢板底面焊四根带弯钩圆钢埋在基础中。
2 ．基础表面水泥砂浆找平抹光，燃烧筒、净化器与风机钢井架三基础的上平面要求在同一水平面上。
3 ．基础结构由土建设计。
六、外形图
七、注意事项
CWJ 不锈钢硅烷尾气净化塔——操作、维护、保养及控制系统注意事项：
1 、设备安装结束后，在试车之前必须先清除塔内污物。
2 、加注中和液至所需范围。
3 、开水泵运行，检查是否正常运转，检查压力表是否正常。
4 、开风机运行，检查运转是否正常。
5 、 CWJ 净化塔为负压运行，如果负压过大则打开新风阀进行调节。
6 、整个系统的风量通过净化塔出口管道上的调节阀进行调节。
7 、每天必须检查储液箱中的液位，不低于溢流口为正常。
8 、如果水泵-1 损坏需立即打开应急补水阀进行喷淋处理。
9 、风机与水泵开关程序：
开机时先开水泵-1 、再开风机、后开水泵-2 ；
关机时先关水泵-2 、再关风机、后关水泵-1 。
10 、清洗或更换填料喷头时，请打开检修孔即可。
11 、清除 Si02 粉或污泥时，请打开清污阀即可。
12 、设备中的中和液每月更换一次。
13 、设备内部的喷头及填料每三个月检查清洗一次
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