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DYX-640S自动匀胶显影机

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  • 公司名称三河建华高科有限责任公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/3/17 9:44:52
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三河建华高科有限责任公司成立于2003年6月13日,是隶属公司地四十五研究所的国有控股公司。公司地处北京东燕郊经济技术开发区海油大街253号,占地100亩;公司现有总资产1.668亿元,资产负债率0.4%,银行信用等级AA+。三河建华高科有限责任公司以打造“中国半导体制造设备的者”为目标,致力于半导体元器件材料加工和芯片制造及检测专用设备的研究开发与生产制造,倾力建设华北地区高精密机械、光学、电气零部件制造中心。公司现有职工230余人,其中各类技术人员60余人,高级技术职称30余人,高级技能以上人才70余人。先后荣获了国家科技型中小企业、河北省企业、科技小巨人、工业企业研发机构、廊坊市研发平台、廊坊市企业技术中心、廊坊市专用设备及精密零部件制造研发中心等多项荣誉。经过多年的科学运作和生产经营,公司规模逐步壮大,每年的销售收入呈逐年增长的态势,公司固定资产处于增值的良好状态。
该设备主要用于LED、MEMS、IC等行业标准晶圆匀胶、、显影、预烘工艺
DYX-640S自动匀胶显影机 产品信息

该设备主要用于LED、MEMS、IC等行业标准晶圆匀胶、、显影、预烘工艺。

主要技术特点

采用星型布局形式,结构紧凑,效率高。

上/下片工位

铝制标准晶圆片盒,不变形、易转片。

双臂机械手

选用进口多关节双臂机械手,不仅具有较高的刚度、灵活性,而且传输速度快,定位精度高。

匀胶单元

匀胶腔采用进口PP材料制成,主轴电机采用进口定制的中空轴交流无刷伺服电机,保证旋转转速、加速度控制精度高,重复性、稳定性好。

显影单元

显影腔特殊结构设计可实现废液收集、气流控制等功能,使显影工艺条件达到。

冷/热板单元

冷板/热板单元是对晶圆进行预烘及冷却处理,晶圆与盘体为非直接接触方式,温度稳定、精度高。

主要技术指标

晶圆尺寸:4″、6″

机械手:1套

匀胶单元:2套

显影单元:2套

主轴转速:0~6000rpm,最小调整量:1rpm

转速精度:±1rpm(50~5000rpm)

主轴加速度:100~20000rpm/sec

胶液数量:2路

背洗功能:可选

去边功能:可选

光刻胶供给:精密胶泵

光刻胶供给量:1~10ml

光刻胶供给精度:±0.1ml

光刻胶粘度:≤1000Cp

光刻胶过滤:可选

显影液数量:2路

喷嘴形式:柱状或H型

供液方式:不锈钢压力罐

背洗功能:有(纯水)

热板数量:≤9套

温度范围:室温~180℃

最小调整量:0.1℃

加热方式:云母加热片加热

温度均匀性:±1℃@50℃~120℃、±2℃@120.1℃~180℃

增粘模块:可选

冷板数量:≤3套

冷却方式:厂务冷却水循环冷却

水温范围:18℃~30℃

外形尺寸:L1950mm×W1700mm×H1900mm

重量:1800Kg

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