在加速度传感器中有一种是三轴加速度传感器，同样的它是基于加速度的基本原理去实现工作的，加速度是个空间矢量，一方面，要准确了解物体的运动状态，必须测得其三个坐标轴上的分量；另一方面，在预先不知道物体运动方向的场合下，只有应用三轴加速度传感器来检测加速度信号。由于三轴加速度传感器也是基于重力原理的，因此用三轴加速度传感器可以实现双轴正负90度或双轴0-360度的倾角，通过校正后期精度要高于双轴加速度传感器大于测量角度为60度的情况。
目前的三轴高灵敏度加速度传感器大多采用压阻式、压电式和电容式工作原理，产生的加速度正比于电阻、电压和电容的变化，通过相应的放大和滤波电路进行采集。这个和普通的加速度传感器是基于同样的原理，所以在一定的技术上三个单轴就可以变成一个三轴。对于多数的传感器应用来看，两轴的加速度传感器已经能满足多数应用。但是有些方面的应用还是集中在三轴加速度传感器中例如在数采设备，贵重资产监测，碰撞监测，测量建筑物振动,风机,风力涡轮机和其他敏感的大型结构振动。
三轴高灵敏度加速度传感器的好处就是在预先不知道物体运动方向的场合下，只有应用三维加速度传感器来检测加速度信号。三维加速度传感器具有体积小和重量轻特点，可以测量空间加速度，能够全面准确反映物体的运动性质。
高灵敏度加速度传感器具有优良的稳定性，可靠性和抗干能力。普通加速度传感器通常需要在标准振动台上进行标定，给使用带来不便。高灵敏度加速度传感器采用*的微电子加工技术和电容式测量原理，可获得优良的低频响应，通过重力加速度g就可对传感器进行标准，且内置自检系统。
1、设备振动测量：高灵敏度系列集成加速度传感器广泛应用于各行业设备运行状态监测。设备运行时的振动量是估量设备运行是否正常的重要指标。该传感器可以测量从直流到2kHz的振动量，输出信号经滤波、检波，对设备的振动大小给出精确直观的指示。
2、冲击测量：大量应用于汽车安全气囊和安全带系统中。撞车时，传感器受到冲击，能在1 ms内输出一个幅度比例于冲击加速度的脉冲信号，当冲击加速度达到一定值时，该信号将使安全气囊爆发或使安全带锁紧，以保护乘车人的生命。
3、倾斜角测量:当传感器倾斜放置时，传感器的输出为重力加速度在传感器测量轴上的分量，即输出与倾斜角存在反正弦的函数关系。当倾斜角较小时，近似为线性关系。
高灵敏度系列集成加速度传感器基于电容式测量原理测量加速度，其输出电信号与测量加速度成正比例，高灵敏度系列集成加速度传感器原理框图如下：
测量范围（峰值） | ±10g |
轴向灵敏度 | 500mv/g (160hz) ±5% (25℃) |
频率响应
| 0.5-5,000Hz （±1dB) |
安装谐振频率 | ≥15,000Hz |
横向灵敏度比 | ≤5% |
线性度 | ≤3% |
激励电压 | 18VDC-28VDC (恒流源) |
恒流源激励（mA） | 2-10mA |
输出阻抗 | ＜100 Ω |
满量程输出（峰值） | ±5V |
噪声 | ＜50μV |
偏置电压 | +9 - +12V |
温漂 | ≤0.01%／℃(-20～+125℃) |
可承受*冲击 | 10000g |
工作温度 | -20～+120℃ |
防护等级 | IP65 |
外壳材料 | 不锈钢 |
用螺栓将传感器紧固于被测设备上。
传感器壳体尺寸图
传感器底座尺寸图
