Mini型全自动匀胶显影一体设备，采用我司自主研发设计的机器人与胶泵，并在客户端成熟应用。设备功能齐全，EBR、BSR、CUP自动清洗、胶嘴自动保湿清洗等功能都具备。还有针管式胶嘴可选择，大幅减少了光刻胶的使用量。机台结构紧凑、占地面积小。 晶片尺寸
2-6英寸，圆形及方形基片，光刻胶旋涂及显影工艺
主要技术参数
1、晶片尺寸： 2-6英寸
2、上下料方式： 高效机械手自动传送
3、离心机转速
额定转速： 6000 rpm
最小调整量： 1rpm
转速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盘(Chuck)
夹持方式： 真空吸附
吸盘真空检测： 数显真空压力传感器
5、光刻胶/显影液过滤： 有，0.1um/0.2um可选
6、光刻胶种类： MAX：3（双腔MAX：6）
7、显影液种类： MAX：2
8、 热处理单元： 热板HP单元（max.180℃） 3个，冷板CP单元1个，根据工艺制程不同可灵活选配
9、滴胶精度： ±0.1ml ；滴胶范围：0.6-3ml
10、软件功能： 工艺参数数字化检测控制，自由编制、修改、储存、调用工艺程序；故障、生产工艺参数等记录等可长期保存备查
11、工作方式： 自动供胶，自动显影，自动取送片
应用行业
广泛服务于半导体、LED、封装、MEMS、OLED、SAW、光通信、科研等领域
宁波润华全芯微电子设备有限公司(ALLSEMI)，简称ASI，位于文化底蕴丰厚、风景秀丽、交通便利的宁波余姚市，在北京、武汉和厦门设有*分支机构。
公司汇聚了一批高素质专业人才，致力于民族半导体装备产业的振兴，专注于新型电子器件生产设备的研发、设计、销售及售后服务。全芯公司与中国台湾、韩国多家公司合作，可提供整线设备解决方案和电子科技领域内的技术咨询服务。
公司通过ISO9001质量体系认证，秉承“专业、诚信、创新、共赢”的经营理念广泛服务于化合物半导体、LED、SAW、 OLED、光通讯、MEMS、*封装等新型电子器件制造领域， 配备了快速响应的销售和技术服务团队。
宁波润华全芯微电子设备有限公司将以*可靠的产品，优质的服务赢得客户信赖，成为一家具有国际影响力的半导体装备及工艺解决方案提供商。
显影机
迷你型全自动匀胶显影机 产品信息
