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半导体集成电路应用

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更新时间：2021-07-12 11:39:55浏览次数：179次

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SEM系列烘烤制程设备具有*的清洁工艺，低氧，快速循环固化粘合剂和聚合物的大批量半导体封装和组装。应用包括晶圆级老化，芯片粘接，酰亚胺胶保护引线与芯片键合固化，老化和可靠性测试。
VAC系列真空制程设备，目前我们已经成功解决了电容器，电阻器和其他电子元件热处理的许多技术挑战。应用包括低温干燥，液晶面板脱泡，靶材真空水分解析处理，热解，固化和陶瓷电容器烘烤，应力消除，HMDS晶片气相涂布等应用



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