SEM-N系列聚酰亚胺固化 返回列表页

SEM-N系列聚酰亚胺固化烤箱是一种清洁工艺烘箱，专为聚酰亚胺硬烘烤和固化应用而设计。

许多半导体制造环境的前端机器适用于聚酰亚胺固化。

这种昂贵的工艺导致设备在清洁度，惰性气氛能力，循环时间或数据采集方面通常不适合聚酰亚胺固化。

SEM-N系列烤箱优化了半导体的聚酰亚胺固化工艺

晶圆器件。它可以缩短周期时间，并为产品负载中的所有晶圆提供一致，可重复的固化过程。我们为SEM-N系列烤箱设计了一个压力释放系统，该系统包括一个可拆卸的“冷阱"，一个易于清洁的冷凝水收集器，有助于防止聚酰胺在炉内排气中积聚。

标准功能：

u 再循环空气通过99.99％HEPA过滤器过滤，用于ISO 5级（100级）或高的操作

u 集成的PC 接口，具有实时图形显示功能

u 氧气监控系统

u 16千瓦加热器容量

u 自动水控制，带不锈钢水冷盘管

u 温度可达（450°C）

u 快速循环时间，每分钟5°C

u 温度均匀性为±1％

u 每层23千克