进口漩涡真空泵

一、进口漩涡真空泵产品概述

二、进口漩涡真空泵选型参数

公称通径：25-300(mm)

流量范围：270-1110m3/h

扬程范围：7-150(m)

额定真空：40-410mbar

功率范围：0.75-18.5kw

转速范围：2900r/min

防爆标志：ExdeIIBT4 DIP21 TA T6

防护等级：IP54/IP65

额定电压：DC24v、220v、380v，660v，1140v（DC、AC）

温度范围：-20℃～120℃

压缩压力： 370毫巴

泵体材质：铝合金、铸铁、WCB、304、316、316L

三、进口漩涡真空泵结构特点

（0）涡旋真空泵主要由5个部件组成

（1）动静涡旋盘副与基座；一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错,两者之间保证180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。

（2）曲轴：保证动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。

（3）密封件：保证动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。

（4）防自转机构：保证动、静盘180°相位差的机构。

（5）电机：输出约1500r/min的动力机构。

四、进口漩涡真空泵的产品用途及使用范围

涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医疗设备行业：牙科仪器、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的*佳配置。它广泛应用于分子泵连接、医疗仪器、电子、半导体、医药、真空包装、太阳能、真空干燥过滤、科研、分析仪表、真空固定、气体脱气、真空成型、泄漏检测、加速器、溅射装置、回收装置等。

五、进口漩涡真空泵原理图

六、进口漩涡真空泵技术参数

八、进口漩涡真空泵电动机的技术参数

九、进口漩涡真空泵尺寸图

十、进口漩涡真空泵的安装

4.1检查产品

1.检查包装箱是否正面朝上，然后打开它。

2.检查产品型号是否是你订购的型号。

3.检查有无损坏。如有损坏，应向承运公司提出索赔。

4.卸去入口卡箍和出口卡箍。

5.检查产品包装塑料袋内的装箱清单，品名、数量是否包装齐全。

4.2工作环境

1.有电击危险。要把泵安装在不使之暴露在潮湿条件（例如雨水或蒸汽）下的区域。电源接头上的潮气，可能造成短路而导致人身伤害或电击。

2.有爆炸和着火危险。安装的区域不应暴露在或其它有关的危险物中。否则，泵可能引发爆炸或火灾。

3.在5℃-40℃的环境温度下操作。如果超出此环境温度范围操作，则可能造成着火、损坏或故障。

4.确保适当通风。要把设备安装在通风良好的区域。因为涡旋泵是通过空冷的通风不良可能造成异常过热、着火或故障。

5.要把泵安装在适当的地方。安装区域应使之不暴露在灰尘或腐蚀性气体中。未能将泵安装在合适的地方，可能产生损坏或故障。安装泵的区域，应使之不暴露在铁、碎石、磨料或木材粉尘等碎屑中。安装区域，应使泵不受日光直接照射。日光直接照射可能造成高温和故障。

4.3泵的安装:该泵备有用于运输的起重吊环螺栓。应当使用具有足够承载能力的起吊设备。在泵被吊起移动时，绝不要站在悬吊起来的泵下方。要把泵安装在牢固的水平地面（斜度小于5°）上。安装不平稳，可能引发故障。如果地面不稳固，则应通过以下方法来固定泵：利用泵底脚上的10×φ8mm孔固定。

4.4电气连接:电气连接必须由合格的电工进行。否则，可能发生电击或火灾。在泵上接线之前，要断开输入总电源。不这样做，可能

造成电击伤害。在接线之前，应当检查电源和电压。三相电动机可用两种电压：380V50HZ；440V60HZ。

十一、进口漩涡真空泵和真空系统的连接

1.泵的入口（法兰）为KF40，出口（法兰）为KF25。

2.一般是采用泵入口直接与真空室连接，但前提是必须是清洁的气体。

3.如有碎屑和水蒸汽、尘埃等，建议采用如下图连接。

4.把隔离阀安装在真空室和泵的入口之间，以防止在起动或停机的时候，碎屑从真空泵回抽到真空室内。

5.我们建议使用自动阀作为隔离阀，它在电源出故障时关闭，以防止碎屑从泵内侧回抽到真空室中。

6.在隔离阀和泵的入口之间安装充气阀，在系统运行过程中打开此充气阀，可以清除泵内的污垢和水蒸汽。

7.在真空室和真空泵之间，要使用清洁的连接管。我们建议在泵的入口和真空室之间采用软管，使得泵的振动不会传播给真空室。

8.确保在操作过程中排气管不堵塞。

9.确保泵的出口压力不超过大气压。

十二、进口漩涡真空泵的操作

1.不要把危险气体或易爆、易燃、有毒或腐蚀性气体，或含有化学品、溶剂或粉末的物质，喷到人身上，如果泵送这样的气体，可能因暴露在有害物质、爆炸或火灾之下而造成人身伤害。

2.决不要把手指或异物放入风扇罩、电动机组的通风孔中。否则，手指可能受伤，或者异物可能吹入你的眼里。

3.决不要卸走或更改安全设备或绝缘部件。卸走或更改这类设备，可能造成电击，或被旋转体造成人身伤害。

4.不要在卸下风扇罩的情况下运转设备。

5.当卸下接线端子罩时，不要进行操作。

起动

1.在起动泵之前，先检查各连接接口的情况，要密封，否则会影响真空度。

2.如果抽吸湿空气或可冷凝的蒸汽，则应如下所述，在起动泵之前，打开进气口，以净化之。

3.在泵初次起动或长时间闲置之后，泵要达到它的极限压力，需要6-8小时。

关闭入口隔离阀，连续运转泵6-8小时，每小时打开充气阀2-3次，每次放空3-5秒钟。但若中间停过泵，潮气可能进入泵中，达到极限压力所需的时间会延长。

4.在起动泵和停泵的时候，要关闭真空泵和真空室之间的隔离阀。否则，碎屑可能从泵回抽到真空泵中。

5.当再起动已经处在工作温度下的泵时，在起动泵之前，要打开充气阀放空3-5秒钟。否则，泵的温度可能变得不稳定，造成故障。

操作

接下述步骤开始起动泵

1.关闭隔离阀，以防止碎屑从真空泵回抽到真空室内。（打开充气阀，如安装了此阀的话）。

2.接通真空泵。

3.打开隔离阀（关闭充气阀，如果安装了此阀的话），给真空室抽气。

抽气

1.连续运转泵接近它的极限压力（例如，前级涡轮分子泵），可能使异物或潮气沉积在泵内而造成故障。

2.操作时，关闭隔离阀并打开充气阀放空3-5秒若干次，这样每天进行一次，以清除泵内异物。

3.在的湿度下操作在抽蒸汽时，入口气体温度必须低于50℃。当蒸汽湿度高于50℃时，要在真空室和泵之间的管道中安装冷凝器或冷阱，以便把入口蒸汽温度降低到50℃以下。抽吸温度高于50℃的蒸汽，可能产生故障。

抽排蒸汽

1.在抽蒸汽时，要打开空气进气口，如果在关闭该口的情况下抽蒸汽，则冷凝的潮气留在泵内，将造成故障。

2.当打开空气进气口时，噪声级和极限压力增大。

空气冲洗的目的

1.吸入泵内的潮气量，依真空室内的温度和压力而变。抽吸潮湿气体，可导致潮气冷凝在泵内。这种残留的潮气可能使泵的极限压力性能变差或出故障。

2.当真空室内含有湿度大于60%RH的气体时，必须打开空气进气口运转泵。

3.打开空气进气口运转泵去除潮气，使泵能够达到它的极限压力。

停机

1.在抽排蒸汽之后，继续在打开空气进气口的情况下运转1小时以上。如果在抽

2.排蒸汽后立即关闭空气进气口或停泵，则冷凝的潮气会留在泵内造成故障。

3.在停机的时候，为了防止碎屑从真空泵回抽到真空室内，要关闭隔离阀（打开

4.充气阀，如果安装了此阀的话）。

5.将真空泵关闭。

6.在泵停止时，大气从空气进气口回吸到泵内，泵内压力变成等于大气压力。为了保持真空室中的真空状态和防止碎屑从真空泵回吸到真空室内，应当在停泵之前，关闭通往真空室的隔离阀。

七、无油涡旋真空泵的维护：

1.忽视维护和检查，可能导致泵的性能不良和出故障。

2.为了去除积存在真空泵内的碎屑，要在使泵的入口与大气相通（或打开充气阀放空3-5秒若干次，如果安装了此阀的话）的情况下运转泵3-5秒（每天一次）。

3.在进行维护之前，要让泵冷却下来。如果停泵后立即进行维护，可能造成人身伤害，如灼伤。

关断电源

1.在进行维护或检查之前，一定要关断电源。不这样做，可能因电击或旋转部件的撞击而造成人身伤害。

2.如果环境温度过高，则要求更频繁的维护。维护的时间间隔是以环境温度5-40℃，年平均温度为25℃为基础定出的。

3.如果环境温度较高，则应缩短维护的时间间隔。

4.维护时间表是在假定泵暴露在清洁气体中的情况下制定的。

维护时间

加润滑脂5000-10000小时

轴承5000-20000小时（听异常声音检查）

密封件5000-20000小时

5.在抽排蒸汽时，由于蒸汽温度、排气量、排气的频繁程度和蒸汽中的物质会影响泵的工作，故必须缩短维护。

拆卸

如果需要拆开真空泵泵体，可按如下步骤和方法

1.将泵头和机脚连接的螺栓卸掉，取下泵头。

2.将泵头后面的风罩拆下；用轴挡卡簧钳将曲轴两端的轴挡去掉，用六角扳手松开两端止头螺丝，取下两头风叶。

3.卸下端盖和静涡旋盘连接的螺栓（拆螺栓前看吸气嘴和端盖之间有没有记号线，如没有请先划一条线以后再拆下螺栓）。将外壳拆下，就拆开泵头。

更换

1.检查内部零件，如果发现损坏或已严重磨损或不灵活。请及时更换。

2.更换轴承，请注意不损坏轴或轴孔

3.更换密封件，请注意不损坏轴孔或密封槽。

4.更换端面密封时，如密封件始终脱落，请在密封槽里间隔地涂点润滑脂，以起到粘住密封件的作用。

十三、进口漩涡真空泵故障排除