上海添时科学仪器有限公司
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OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统，该设备由射频电源、1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统可广泛应用于生长纳米线、石墨烯及薄膜材料领域。
产品特点：
•带有石英观察窗口的不锈钢真空密封法兰，便于观察等离子发光（图1）；
•射频电源可实现等离子增强，从而显著降低实验温度；
•四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;
•此款设备可安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑（图2、3）；
•此款设备可选配控温精度为±0.1℃的欧陆仪表（图4）。
基本参数：
•工作温度1500℃（<30min）；连续使用温度1400℃；
•三个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃，带有超温和断偶保护；
•·输入电源： 208-240V，AC，单相；功率：6.6 KW；
•内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。
•注意：此设备不标配炉管。购买前请与我们销售确定炉管相关事宜。
射频电源：
真空系统：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统（可选）：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;
•流量范围：
•电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
•气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸和重量：
•炉体尺寸： 550mm L'380mm W'520mm H
•炉体下端移动柜：1800mm L'600mm W'600mm H
•净重：100 kg
•运输重量：550 kg
承诺：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件
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