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全自动喷胶机

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参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号SP200-AT

品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海市

更新时间:2022-10-08 10:07:46浏览次数:290次

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经营模式:其他

商铺产品:789条

所在地区:上海上海市

联系人:范先生

产品简介

全自动喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

详细介绍

喷胶机

适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺
全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板
高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能
供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调
高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调
触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

产品参数

处理晶圆:25片(标准Cassette),自动mapping
电缸有效行程:300mm*300mm
线轨式机械手自动上下片,可连续自动化工艺处理
雾化流量:8ml/min,程序可调
雾化颗粒直径:30~50um
温度均匀性:≤±1%(温度范围:RT~150℃)
控温精度:±0.5℃
设备尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)


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