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全自动/轨道式去胶剥离机

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全自动/轨道式去胶剥离机
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厂商性质其他

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更新时间：2022-10-08 10:09:03浏览次数：205次

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上海添时科学仪器有限公司

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产品简介

全自动/轨道式去胶剥离机适用于8英寸及以下规格晶圆的去胶剥离工艺（Liftoff工艺）不锈钢柜体,触摸式人机交互界面耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统8寸以下化合物（钽酸锂等）全自动去胶剥离工艺处理适合声表滤波器（SAW）行业产能要求适中的批量产线可选配MES协议转换模块

详细介绍

全自动/轨道式去胶剥离机

产品介绍


适用于8英寸及以下规格晶圆的去胶剥离工艺(Liftoff工艺)
不锈钢柜体,触摸式人机交互界面
耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统
8寸以下化合物(钽酸锂等)全自动去胶剥离工艺处理
适合声表滤波器(SAW)行业产能要求适中的批量产线
可选配MES协议转换模块

 

产品参数

 

white:
设备配置:1套浸泡单元、1套剥离单元
浸泡模块处理晶圆数量:25片
剥离单元主轴旋转速度范围:20-3000rpm
加速度范围：20-5000rpm/s
剥离喷嘴类型:高压或扇形喷嘴
设备尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)


或

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主营产品：光度计，水质监测，气体发生器，培养箱，环境监测，实验室仪器


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