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真空等离子清洗机30L

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更新时间：2023-09-02 08:44:43浏览次数：185次

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深圳金铂利莱科技有限公司

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产品简介

VP120Plasma专为微电子表面清洁与处理设计可以用于处理各种电子材料，包括塑料、金属或者玻璃等

详细介绍

VP120 Plasma

专为微电子表面清洁与处理设计

可以用于处理各种电子材料，包括塑料、金属或者玻璃等。

用途

·wire bonding 前焊盘的表面清洗

·集成电路键合前的等离子清洗

·ABS 塑料的活化和清洗

·陶瓷封装电镀前的清洗

·其他电子材料表面改性和清洗

特性

·采用 13.56MHz 射频电源搭配自动网络匹配器或中频40Khz电源

·产品放置治具灵活多变，可适应不同形状的产品

·产品放置平台灵活移动，方便操作

·极小的占地面积

技术规格		VP120
电极	有效尺寸	400（W）*410（D）mm
电极	电极分布	6层水平分布，极板间距50mm
真空腔体	尺寸	785（W）485（D）350(H)mm
真空腔体	材料	航空铝合金
主机	主机体尺寸	1240(W)×1600(H)×1100(D)mm
	安装面积	1500*1500mm
	重量	标准机型：500KG
RF电源	功率@频率	美国CERES-600W@13.56MHz或1000W@40Khz
真空泵	变频器	德国西门子变频器控制真空泵电机
真空泵	机械油泵	日本ULAVC-60m3/h
主要配件	气体流量计	SevenStar 2通道0-300sccm
	真空探测仪	日本ULAVC皮拉尼式
	破真空阀门	日本CKD气动阀门
	电磁阀	日本SMC真空电磁阀
	控制方式	德国西门子PLC & 人机界面
安装条件	电力	AC380，50/60Hz，3Phase 5wire，5.2KVA
	压缩空气	0.4-0.6MPa
	工艺气体	O2 N2 H2 Ar
	排气管道接口	KF40

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