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Inficon BPG400 真空计

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产品简介

InficonBPG400大气压至超高真空真空计广泛测量从超高真空到大气压的复合规管技术INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）

详细介绍

Inficon BPG400 大气压至超高真空真空计

广泛测量从超高真空到大气压的复合规管技术

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从 5×10^-10 毫巴至大气压（3.8×10^-10 托至大气压）。

BPG40x tiba15_31

益处

测量范围非常广，从 5×10^-10 毫巴至大气压（3.8×10^-10 托至大气压）
10^-8 … 10^-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
使用寿命长的氧化钇铱丝
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
RoHS 合规
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

零件号明细353-500BPG400 规管353-500-11BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF353-500-I0BPG400规管353-502-ABPG400规管354-498Spare electronic BPG400 without Display354-499Spare electronic BPG400 with Display353-501BPG400 规管353-502BPG400 规管353-503BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-505复合真空规353-506BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R353-507BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF353-508BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R