苏州利比特控制科技有限公司
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AgilentTwisTorr304FS高真空涡轮分子泵采用Twistorr拖动技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性
Agilent TwisTorr 304 FS 高真空涡轮分子泵采用 Twistorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体（如氢气和氦气）能提供高压缩比，从而实现大抽气量和高前级耐压，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，缩短系统停机时间，并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 304 FS 泵的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
技术规格
| 抽速： 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160： | N2：250 L/s N2：250 L/s | He：255 L/s He：255 L/s | H2：220 L/s H2：220 L/s | Ar：250 L/s Ar：250 L/s |
| 全转速气载（使用推荐前级泵） 环境温度 (25 °C) 水温 (25 °C，50 L/h) | N2：170 sccm N2：170 sccm | Ar：110 sccm Ar：110 sccm | ||
| 压缩比与前级压力关系： | N2：> 1 × 1011 N2：> 10 mbar | He：> 1 × 108 H2：> 10 mbar | H2：1.5 × 106 H2：> 4 mbar | Ar：> 1 × 1011 Ar：> 10 mbar |
| 极限真空*（使用推荐的前级泵） (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10Torr) | |||
| 抽气口法兰 | 8 英寸外径 CFF 2.6 英寸外径 CFF | ISO 160 ISO 100 | ||
| 前级管道法兰 | KF 16 NW（KF25 — 可选） | |||
| 转速 | 60000 rpm（1010 Hz 驱动频率） | |||
| 启动时间 | 小于 3 分钟 | |||
| 推荐的前级泵 | 机械：Agilent DS 102 干泵：Agilent SH 110 | |||
| 工作位置 | 任意 | |||
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空气相对湿度 | 0%–90%（无冷凝） | |||
| 烘烤温度 | 抽气口法兰温度 120 °C（CFF 法兰）抽气口法兰温度 80 °C（ISO 法兰） | |||
| 润滑油 | 性润滑 | |||
| 冷却要求 | 风扇冷却（环境温度 5–35 C） 水冷（如果环境高于 35 ℃，需强制水冷） | |||
| 冷却水 | 最小流速： 50 L/h (0.89 GPM) | 温度： +15 ℃ 至 +30 ℃ | 压力： 3 至 5 bar（45 至 75 psi） | |
| 噪声声压级 | 在 1 米处，< 50 dB(A) | |||
| 储存温度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 海拔 | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅）： | 泵 ISO 100： 5.5 (12.3) | 泵 CFF 6 英寸： 7.5 kg (16.5) | 泵 ISO 160： 5.7 kg (12.6) | 泵 CFF 8 英寸： 9.7 kg (20.9) |
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