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等离子清洗机 PDC200/210/510

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等离子清洗机 PDC200/210/510
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更新时间：2023-02-13 17:06:36浏览次数：350次

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柜谷科技发展（上海）有限公司

经营模式：其他

商铺产品：293条

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联系人：钱总

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产品简介

详细介绍

PDC200/210/510等离子清洗机

高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,电极尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）适用于研究开发的小型等离子清洗机。 

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。 

用途 

▪CSP、BGA、COB基板的等离子清洗

▪去除有机膜和金属氧化膜

▪印刷电路基板的干式清洗

▪界面活性处理

▪LED封装 

特征

▪DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）

▪RIE模式

▪均匀性高的电极构造

▪操作简单的触摸屏控制器 
 

规格 

型号

PDC200

PDC210

PDC510

等离子模式

RIE（DP模式选配）

RIE/DP

电极构造

平行平板（固定）

高频输出

Max300W

Max500W

频率

13.56MHz

控制·显示

液晶触摸屏

反应室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

电极尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反应室材质

铝

反应气体

2系统（Ar、O2）

填充气体

N2或干燥空气

反应气体流量控制

流量计

聚合控制器

真空泵

另行选配

油泵（约345L/分）标配

油泵（约500L/分）标配

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

约100kg

约105kg

约180kg

电源

单相 AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

 

 


或

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