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更新时间:2023-02-14 08:12:07浏览次数:351次
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商铺产品:293条
所在地区:上海上海市
联系人:钱总
13.56MHz高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP双模式 使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应 多种用途。 特征 ● 可变更电极构造提高等离子效果。 ● 搭载高精度适配器,高性能RF 电源。 ● 可根据需求规格提供定制。 用途 ● 硅晶圆的灰化及蚀刻 ● 基板表面污垢处理 ● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理 ● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗 ● 自然氧化膜·有机物去除 ● 界面活性处理 ● 表面污染物去除 内槽 规格
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