深圳市韵腾激光科技有限公司
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设备应用：
飞秒激光刻蚀机适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀。也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。同时，适用于其他多层材料超细线宽激光刻蚀加工，如不锈钢网上的PI膜刻蚀、玻璃基材上PI膜刻蚀、不锈钢光栅划线等应用。
设备简介
设备采用固体激光器，适合对导电玻璃与镀层进行精细刻线；采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀，操作简单，方便快捷；通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计，加上真空吸附托盘装置，能有效地解决激光刻蚀机在加工运行中的平稳性；采用除尘系统设计，能保证玻璃与工作平面的清洁，保证激光刻蚀过程中无残留。
设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体，具有高灵活性、高精度、高速度等*制造技术的特征。可大范围内进行各种图案，各种尺寸的精密、高速刻蚀，并且能够保证很高的产能，是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。
适用行业
玻璃、硅片、陶瓷、PET薄膜，太阳能等基底上镀膜激光刻蚀，常用于触摸屏、光伏太阳能电池、电致色玻璃、调光玻璃、发光玻璃、其它显示屏等行业激光刻蚀加工。
整体说明
主要构成：激光器、光路系统、运动系统、控制系统、 定位系统、 抽尘系统、 真吸附空系统等组成。
主要技术参数
型号 | Y | |
激光器 | 飞秒、皮秒激光器 | 纳秒激光器，波长1064nm |
加工幅面 | 定制加工幅面 | |
聚焦光斑 | ＜10μm | ＜20μm |
激光器频率调节范围 | 20-5000KHz | 100-500KHz |
刻蚀最小线宽 | ＜5 um | ＜20μm |
（可以去除95%以上的氧化物镀层） | ||
整机精度 | ±5μm | ±20μm |
最小线间距 | ＜10μm | ＜20μm |
工作台定位精度 | ±2um | |
工作台重复精度 | ±1um | |
CCD自动定位精度 | ±2um | |
刻蚀速度 | ＜4000mm/s | |
设备尺寸 | （根据实际尺寸而定） | |
设备重量 | 2500kg | |
功率消耗 | ＜3000W | |
可处理文件格式 | DXF文件 | |
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