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武汉元禄光电技术有限公司


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薄膜太阳能电池激光刻蚀机-中试线

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地武汉市

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更新时间:2024-08-08 09:08:53浏览次数:130次

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经营模式:其他

商铺产品:19条

所在地区:

联系人:万先生

产品简介

满足刚性玻璃基底表面的薄膜类太阳能电池刻蚀,采用四台设备分别对应不同薄膜电池不同功能层刻蚀需求。P1采用纳秒红外刻蚀TCO,P2采用皮秒紫外或绿光刻蚀功能层,P3采用皮秒紫外或绿光刻蚀背电极,P4采用高功率纳秒红外做清边。

详细介绍


基本功能

满足刚性玻璃基底表面的薄膜类太阳能电池刻蚀,采用四台设备分别对应不同薄膜电池不同功能层刻蚀需求。P1采用纳秒红外刻蚀TCO,P2采用皮秒紫外或绿光刻蚀功能层,P3采用皮秒紫外或绿光刻蚀背电极,P4采用高功率纳秒红外做清边。

 

特别注明:柔性基底中试线元禄光电开发中,可电话详细咨询联系!

 

产能高:可配备多路光束加工(可配单路),单机产能可达100MW;

精度高:采用高精度CCD定位,定位精度±15um;

可靠度高:采用结构,设备稳定性高;

适应性强:每一台设备既可离线(前后需加一段接驳台),又可在线使用,适应不同客户的需求;

 

性能参数

参数

P1红外激光刻蚀机

P2皮秒激光刻蚀机

P3皮秒激光刻蚀机

P4红外激光刻蚀机

激光波长

1064/532/355nm

355/532 nm

355/532nm

1064nm

功率

30W MOPA

15-60W

15-60W

100W MOPA

加工头数

单头/6头/12头

单头/6头/12头

单头/6头/12头

单头/双头

电池片尺寸

300*400/500*500/600*600/600*900/600*1200mm

电机定位精度

±5um

电机速度

1m/s

最小刻蚀线宽

30um

30um

30um

1-20mm

最小公差

±5um

±5um

±5um

±100um

最小线间距

30um

30um

30um

/

热效应区

5um

5um

5um

50um

CCD定位精度

±10um

±10um

±10um

±10um

直线度

±20μm

±20μm

±20μm

±20μm

除尘率

≥99%

≥99%

≥99%

≥99%

输送带速度

20m/min(速度可调,会对节拍造成影响)

进出料高度

900±20mm


 


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