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洁净气体过滤器・空气过滤器

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SMC（中国）有限公司

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洁净型气体过滤器 SFA


滤盒型／滤片型

・可更换滤芯的滤盒型。
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系列 使用压力 过滤精度
SFA100・200・300 1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa） 		0.01μm
洁净型气体过滤器 SFB


滤盒型／滤片型

・可更换滤芯的滤盒型。
下载
其他资料
　
系列 使用压力 过滤精度
SFB100・200 1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa） 		0.01μm
洁净型气体过滤器 SFB


一次性型／直线型

・半导体工程用的小型一次性型。
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其他资料
　
系列 使用压力 过滤精度
SFB300 Max.1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa） 		0.01μm
洁净型气体过滤器 SFC


一次性型／直线型

・半导体工程用的小型一次性型。
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其他资料
　
系列 使用压力 过滤精度
SFC100 1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa） 		0.01μm

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