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Diener 等离子清洗机 PICO

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更新时间：2023-08-28 08:51:45浏览次数：134次

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上海尔迪仪器科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：66条

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产品简介

技术应用链接:特点：低压等离子系统

详细介绍

技术应用链接:

· 低压等离子系统，用于不同材料表面的处理

· 配置自动/手动模式，实现控制高机能

· 4” Wafer去胶清洗

· 适合于研究院、高校、研发中心使用

· 操作简单易使用

型号		PICO	PICO PCCE
控制系统		手动控制	PCCE 控制系统
工艺气路		双路或三路气体
工艺气体		O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体
单体导入		H2O，亲疏水涂层等单体（选配）
流量计		针阀流量计（防腐蚀）	MFC流量计（防腐蚀）
真空腔体	材质	高硼硅玻璃/石英盖子门/铰链门带观察窗	不锈钢盖子门/铰链门带观察窗	铝合金铰链门
	圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm	150×320(600)*^1**	130×300( 600)*^1**	—
	方形腔体内尺寸（W×D×H）mm	—	160×325( 600)*^1**×160mm	150×325（600）*^1**×160
	容积	5.6L~10.6L	8L~15L	7.8L~14L
电极		360度外置环绕电极	平行平板电极
发生器*		40 kHz 0-200W 100 kHz 0-500W 13.56 MHz 0-50W 或者 0-100W 或者0-300W 2.45 GHz 0-300W
真空压力计		指针式压力计	皮拉尼数字式压力计
计时器		模拟数字式	数字式
托盘		高硼硅玻璃，石英，不锈钢，铝合金
外形尺寸（WXDxH）mm		560x600-750x460-860mm
电源		AC220V 50Hz 10A
真空泵		排气速度不小于8m3/H