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上海尔迪仪器科技有限公司
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产品型号
品 牌
厂商性质其他
所 在 地
更新时间:2023-08-28 08:52:56浏览次数:157次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:66条
所在地区:
联系人:张经理
技术应用链接:特点低压等离子系统
· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式,实现控制高机能
· 中型尺寸腔体可处理多种样品
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
型号
NANO
NANO PCCE
控制系统
手动控制
PCCE 控制系统
工艺气路
双路或三路气体
工艺气体
O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体
单体导入
H2O,亲疏水涂层等单体(选配)
流量计
针阀流量计(防腐蚀)
MFC流量计(防腐蚀)
真空
腔体
材质
高硼硅玻璃/石英
盖子门/铰链门带观察窗
不锈钢
铝合金腔体
铰链门
圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm
240×400(600) *1
267×420(600)*1mm
—
方形腔体内尺寸 (W×D×H)mm
240×420(600)*1×240mm
240×420(600)*1×240
容积
18L~27L
24L~34L
电极
360度外置环绕电极
平行平板电极
发生器*
100 kHz 0-500W
80 kHz 0-1000W
13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W
2.45 GHz 0-600W
真空压力计
指针式压力计
皮拉尼数字式压力计
计时器
模拟数字式
数字式
托盘
高硼硅玻璃(石英选配),不锈钢
外形尺寸(WXDxH)mm
560x600-750x600-860mm
电源
AC220V 50Hz 10A
真空泵
排气速度不小于16m3/H
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