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等离子清洗机 YSP63FA

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技术应用链接:●操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒

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技术应用链接:

● 操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
● 软性基板也可以进行传送操作。
● 传送速度可在Hi-Low间调节。
● 可通过网络进行远程操作（选购品）。

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型号	YSP63FA
模式	RIE（DP模式选购）
高频输功率	600W
反应台尺寸	W385×D362mm
内腔尺寸	W395×D378×H45mm（内尺寸）
反应气体	2进气系统（氧气、氩气）
反应气体流量控制	质量流量控制器
真空泵	旋转式真空泵（约500L/min）
气体导入口	反应气体2个、填充气体1个、空气1个
外形尺寸	W1860×D1100×H1800mm

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