深圳市利方达科技有限公司
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MKS 925系列微皮拉尼真空计，是基于一个以微电子机械系统的热量传导型的真空传...
● 压力测量范围在10ˉ5Torr 到大气压，大于普通的皮拉尼真空计2个测量等级
● 3个用于工艺控制的中继点(选择性)
● 超精致的设计
● 为工艺控制提供高的测量精度
● 模拟的输出和数字通讯(RS232或RS485)提供了简便的操作
● 可以抵御大气冲击和振动
● 可以方便地安装于任何方向，没有任何测量精度的损失
● 可以替代任何供应商的真空计和设施的升级
● 符合欧洲CE，EMC标志
MKS925真空计可以使用于半导体工业的分析和镀膜工艺上的测量。
● 一般的真空压力测量
● 前极管路和低真空的测量
● 气体的充填测量和控制
● 质谱仪器的控制
● 超高真空计的启动
● 工艺系统的控制
● 控制系统的压力
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