Teledyne HPM-2002双传感器真空计
屡获殊荣的2002系列宽范围双传感器真空计有两种安装方式,面板安装或传感器安装。
HPM-2002双传感器真空计是一种面板安装仪器,带有基于微处理器的显示单元,仪表管和互连电缆。两个传感元件(微机械皮拉尼和压阻式传感器)可在1 X 10-4至1000 Torr的压力下提供精确的真空测量。驻留在微处理器中的算法确保传感器之间的无缝过渡。HPM-2002-OBE双传感器真空计是仪表的系统安装版本。HPM-2002-OBE以紧凑的配置提供2002系列的所有性能特性,您可以选择12种信号输出选项。
应用
半导体蚀刻
溅射室
负载锁定系统
过程控制和测试
等离子涂层