杭州华盼科技有限公司
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简要描述：桌面型探针式表面轮廓仪
DektakXT®探针式轮廓仪革命性的突破设计创新，实现了垂直高度重复性高达4埃，数据采集能力提高了40%。这一里程碑的创新和突破，使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
技术创新四十余载，不断突破用攀高峰
Dektak品牌是基于微处理器控制的轮廓仪，实现微米测量的台阶仪，可以达到3D测量的仪器，个人电脑控制的轮廓仪，全自动300mm台阶仪。现在，全新的DektakXT延续了这种开创性的风格，成为世界*台采用具有具有单拱龙门式设计，配备D摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成较佳测量和操作效率的台阶仪。
提高测量和数据分析速度
采用高速的直接驱动扫描样品台，DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大缩短了每次扫描的间隔时间，将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布鲁克具有64位数据采集同步分析的Vision64，可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。
提高操作的可重复性
使用单拱龙门结构设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。DektakXT会把系统和环境噪音引起的测量误差降到较低，能够更稳定可靠的扫描高度小于10nm的台阶，获得其形貌特征。
完善的数据采集和分析系统
与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是布鲁克Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上较实用简洁的用户界面，具备智能板块，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。
简便易行的实验操作系统
DektakXT新颖的探针的部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针。
高效率的保证
DektakXT的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。
台阶仪Dektak XT能实现：
的性能，台阶高度重现性低于4埃
Single-arch设计提供具突破性的扫描稳定性
*的“智能电子器件”设立了新低噪音基准
新硬件配置使数据采集时间缩短40%
64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了10倍
频率，操作简易
直观的Vision64用户界面，操作简易
针尖自动校准领域，的价值
布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现较高的性能
单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围
规格：
测量技术：探针轮廓仪DEKTAK XT
测量功能：二维表面轮廓测量/可选三维测量
样品视景：可选放大倍率，1to4mmFOV
探针传感器：低惯量传感器（LIS3）
探针压力：使用LIS3传感器：1至15mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50nm至25μm；高径比（HAR）针尖：10μm×2μm和200μm×20μm；可按客户要求定制针尖
样品X/Y载物台：手动X-Y平移：100mm(4英寸）；机动X-Y平移：150mm（6英寸）
样品旋转台：手动，360°旋转；机动，360°旋转
计算机系统：64-bit多核并行处理器，Windows7；Optional23英寸平板显示器
软件：Vision64操作及分析软件；应力测量软件；缝合软件；三维扫描成像软件
减震装置：减震装置可用
扫描长度范围：55mm（2英寸）
每次扫描数据点：较多可达120000数据点
较大样品厚度：50mm(2英寸）
较大晶圆尺寸：200mm(8英寸）
台阶高度重现性：＜4埃，1sigma在5μm垂直范围下）
输入电压：100-240VAC，50-60Hz
温度范围，运行范围：20到25℃
湿度范围：≤80%，无冷凝
系统尺寸及重量：455mmW×550mmD×370mmH（17.9in.W×22.6in.D×14.5in.H)；34公斤（75磅）；
附件：550mmL×585mmW×445mmH（21.6in.L×23in.E×17.5in.H)；21.7公斤（48磅）
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