厦门实锐科技股份有限公司
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*X/Y/Z轴重复定位精度：优于等于±20μm
产品信息
产品参数
1、外形、尺寸：长≤2000mm，宽≤2000mm，高≤2000mm
2、温度、湿度：10~30℃； 30%~70%；
3、电：三相 380V 50Hz或220V 50Hz；
4、压缩空气：0.6MPa；
可靠性、维修性、测试性要求
（1）*X/Y/Z轴重复定位精度：优于等于±20μm；
（2）*工作范围：≥300mm*300mm*50mm；
（3）速度：X≥500mm/s，Y≥500mm/s ，Z≥100mm/s；
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