上海衡鹏企业发展有限公司
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STK-6050落地式高级自动晶圆减薄贴膜机特点：4"-8"晶圆适用设计的滚轮贴膜自动胶膜进给及贴膜手动晶圆上下料自动切割胶膜
STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机特点： |
4" - 8"晶圆适用 |
设计的滚轮贴膜 |
自动胶膜进给及贴膜 |
手动晶圆上下料 |
自动切割胶膜，省力 |
蓝膜、UV 胶膜可选 |
PLC+触摸屏 |
配置光帘保护功能，和紧急停机按钮 |
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控 |
STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机性能： |
晶圆收益 | ≥99.9% |
贴膜品质 | 没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡） |
Cycle Time： | ≤ 45 秒（不包含上料/下料时 间） |
MTBF | >168小时 |
MTTR | <1小时 |
停机时间 | <3% |
更换产品时间： | ≤ 10 分钟 |
STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机参数： |
晶圆直径： | 4"- 8"晶圆 |
晶圆厚度： | 100~750 微米 |
晶圆种类： | 硅, 砷化镓或其它材料/单平边,双平边,V 型缺口； |
膜种类： | 蓝膜或者 UV 膜 |
贴膜方法： | 滚轮贴膜 |
晶圆台盘： | 接触式晶圆台盘 |
晶圆台盘加热： | 可达 120℃ (对应接触式台盘，可 选 |
晶圆放置精度： | X-Y: +/- 0.5 毫米； Θ : +/- 0.5°； |
装卸方式： | 手动晶圆放置与取出；晶圆在位置检测； |
防静电控制： | 去离子风扇 |
切割系统： | 自动刀 |
控制单元： | 基于 PLC 控制，10.4"触摸屏 |
电源电压： | 单相交流电 220V,10A； |
压缩空气： | 60 PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺 |
灯塔： | 三色灯塔和蜂鸣器，用于操作状态监测 |
安全： | 配置安全光帘和紧急停机开关； |
体积： | 950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) |
净重： | 300 公斤 |
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