山东东南仪诚实验室设备有限公司
型号 | PDC610 |
等离子模式 | RIE/DP(固定模式) |
电极构造 | 3段独立平行平板(固定) |
高频输出 | Max600W |
频率 | 13.56MHz |
控制·显示方式 | PLC·触摸屏 |
反应腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反应腔材质 | A5052 |
反应气体 | 2系统(Ar、O2) |
填充气体 | N2或干燥空气 |
真空泵 | 油泵(约345L/分)·标配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外装材质 | 不锈钢 |
电源 | 3相,AC200,50/60Hz,15A |
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