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INFICON 反磁控皮拉尼真空计

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产品简介

益处复合真空计–倒置磁控管与皮拉尼测量范围广

详细介绍

益处

复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
测量范围广，从 5 x 10^-9 毫巴到大气压
不会出现单丝烧毁的现象
的点火属性
易于清洁
FPM 或金属密封馈入装置
高压 LED 指示灯
对数模拟输出信号

典型应用

高真空压力监控
蒸发系统和溅射系统的基本压力

中高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型		MPG400 FPM sealed	MPG401 metal-sealed
测量范围（空气，N2）		5 x 10-9 … 1000	5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)
1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±30%	≈±30%
可重复性
1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±5%	≈±5%
安装定位		any	any
容许压力	bar (absolute)	≤10 (limited to inert gases)	≤10 (limited to inert gases)
容许温度
运行（环境）	°C	+5 … +55	+5 … +55
贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65
烘烤 (1)	°C	150	150
单丝温度（皮拉尼）	°C	120	120
电源电压
真空计上	V (dc)	+15 … +30	+15 … +30
缆线更长的电源装置 (2)	V (dc)	+16 … +30	+16 … +30
波纹	V (p-p)	≤1	≤1
功耗	W	≤2	≤2
可连接的保险丝	AT	≤1	≤1
输出信号（测量信号）
电压范围	V	0 … +10.5	0 … +10.5
测量范围	V	+1.82 … +8.6	+1.82 … +8.6
电压与压强		logarithmic, 0.6 volts per decade	logarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号
无电源	V	<0.5	<0.5
皮拉尼传感器，单丝断裂	V	>9.5	>9.5
输出电阻	Ω	2 x 10	2 x 10
更小负载电阻	kΩ	10, short-circuit proof	10, short-circuit proof
反应时间
p > 10-6 毫巴	ms	<10	<10
p = 10-8 毫巴	ms	≈1000	≈1000
识别真空计		85, referenced to supply common	85, referenced to supply common
状态
仅皮拉尼模式	V	0 (low)	0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式	V	15 … 30 (high)	15 … 30 (high)
LED	LED green	high voltage on	high voltage on
电气连接		FCC 68 appliance connector, 8 poles, female	FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆		8 poles plus shielding	8 poles plus shielding
电缆长度	m	≤50 (8 x 0.14 mm2)	≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压	kV	≤3.3	≤3.3
运行电流	μA	≤500	≤500
暴露于真空的材料		stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
内部容积	cm3	≈20	≈20
重量
DN 25 ISO-KF	g	≈700	≈730
DN 40 ISO-KF	g	≈720	≈750
DN 40 CF-F	g	≈980	≈1010
保护类别		IP 40	IP 40
标准
CE 合规		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1