设备简介
适用于厚膜、薄膜电阻的激光调阻，电子电路的功能修调、输出信号的修调。广泛应用于厚膜电路、汽车电子、传感器等领域。设备配置高，适合大规模量产。
设备特点
适用厚膜电路调阻，电子模块功能修调
高精度，高速度，高可靠性
订制的激光器，切口质量高
直线电机XY平台分步重复
消色差成像技术，图像识别功能
矩阵测量系统，配备IEEE-488(GPIB)接口
强大软件编程功能，满足各种不同应用
主要技术参数
激光系统 | 型号规格 | LT7130/G/U |
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激光波长 | 1064nm/532nm/355nm |
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激光功率 | 10W |
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典型光斑尺寸 | 35±5μm |
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对焦方式 | 自动，计算机程序控制 |
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冷却方式 | 水冷 |
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激光束定位系统 | 激光束运动范围 | 60mm X 60mm |
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运动分辨率 | 0.76μm |
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重复定位精度 | ±2.5μm |
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分步重复运动系统 | 运动方式 | 平面电机或直线电机 |
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运动范围 | 290mm*260mm |
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重复定位精度 | ±1μm |
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运动速度（空载） | 900mm/s |
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测量系统 | 电阻测量方式 | 四线制测量或二线制测量 |
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电阻测量精度 | 中阻 ± 0.02% |
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电阻测量范围 | 0.1Ω-100MΩ |
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测量速度 | 25μs/次 |
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零点及满程误差校正 | 自动校正 |
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探针定义 | 可编程任意设定 |
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探针板运动 | 自动、计算机程序控制 |
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探针板规格 | 标准P48 |
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