1 | 流量规格 | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
12 | 输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) |