当前位置：北京艾姆希半导体科技有限公司>>研磨抛光设备>>GNAD400 精密研磨抛光机

GNAD400 精密研磨抛光机

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质其他

所在地北京市

在线询价收藏产品查看联系电话

更新时间：2023-10-08 10:39:47浏览次数：138次

联系我时，请告知来自包装印刷产业网

暂无信息

北京艾姆希半导体科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：32条

所在地区：北京北京市

询价 给他留言

产品简介

精密研磨抛光系统设计科学、性能*、自动化程度高、操作方便、可靠性与维护性强。整机防腐，独立可移动式触摸操控系统；多通道进料系统；数字厚度监测装置，实时监测去除量；工艺参数存储以及定时功能；配有工作位升级预留接口。

详细介绍

• GNAD400系列精密抛光系统独立操控系统，整机防腐。
• 主机所有参数均可在触摸操控系统上进行设定，可选择无线或有线方式控制主机。
• 夹具配备数字厚度监测装置；并配有独立驱动系统，且摆动速度和摆动幅度可以调节。
• 晶圆样品通过抽真空的方式吸附在夹具底面，并可以根据用户工艺要求定制各种角度附件等非标夹具附件，并实现对非标形状样品的抛光及角度抛光。
• 研磨抛光盘转速可以调节，且更换方便，大幅缩短工艺时间。
• 多通道进料系统，工作时料桶具有在线搅拌功能，并且滴料速度可以精确控制。
• 在线实时磨抛盘温控及冷却选配功能，盘温接近预设温度警戒值，设备会自动启动冷却功能，保持磨抛盘在工艺要求的温度范围内运转工作。
• 磨抛盘自动冲洗选配功能，可实时在线冲洗磨抛工作区域。并且流速，清洗时间等参数可精确数控。
• 设备定时功能，预设时间0-10小时。预设时间达到，设备自动停机。