东莞芳汇鑫科技技术有限公司
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带加热且加热温度范围可调的台盘设计，***贴膜粘合效果能调整至理想状态。带弹力的台盘可自适应不同厚度的晶圆、玻璃或陶瓷。表面***的特氟龙处理不但可以把贴膜时产生的静电减到***而且还能有效防止对芯片的物理划伤。本机带有自动收膜系统可以适用于带保护膜的双层膜。晶圆撕膜机的特性，FHX-MTS内部结构形式图
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晶圆撕膜机WKM手动版规格书
一、产品概述
本机为自行研制的手动撕膜机（型号为 FHX 系列），尺寸分别为 6 寸、 8 寸、 12 寸等。东莞芳汇鑫科技技术有限公司
（可定制），晶圆、 LED 撕膜使用。本机主要特点：
? 主体部分为不锈钢、铝合金制作，质量可靠，性能稳定；
? 可把 3"~12" 晶片在反研磨或蚀刻工艺贴膜去除。
? 操作简单，易懂易会；
? 本机外表美观、坚固可靠、性能、价格实惠，能为广大客户大大提高生产效率。晶圆撕膜机FHX手动版规格书LED 撕膜使用
1- 工作台盘
2/3/4-12 寸 /8 寸 /6 寸真空开关 : 按下吸附台盘晶片使其牢固；按下开关，开关上红灯长亮，此时真空功能开启。再按一次，开关上红灯熄灭，真空功能关闭；
5- 温控器：打开此开关可把机器的台盘加热，按下开关，开关上绿灯长亮，此时加热功能开启。再按一次，开关上绿灯熄灭，加热功能关闭；
6- 离子风扇 : 去静电
7- 精密调压阀：***调节气压大小
8- AC 插头：接电插口
9- 电源开关：按下“○"关闭电源，按下“－"开启电源
10- 进气接口：接气接口
成品展示：
晶圆撕膜机的特性，FHX-MTS内部结构形式图
晶圆撕膜机的特性，FHX-MTS内部结构形式图
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