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高温超纳米压痕测试仪(UNHT³HTV)高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统,温度在800°C以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量
高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统,温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。 UNHT 技术与的加热功能结合,可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。
载荷 | |
---|---|
载荷 | 100 mN |
载荷分辨率 | 6 nN |
本底噪音 | 0.5 [rms] [μN]* |
位移 | |
位移 | 100 μm |
位移分辨率 | 0.003 nm |
本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
极限真空度 | 10⁷ mBar |
温度 | 800 °C |
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