SHINKO神港精机SST200真空泵
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二,薄膜成型设备
1,多室型溅射成型设备。STM5412,STM5213,STM4415
2,负载锁定型溅射成型设备。STL5321,STL5111,STL5311
3,批量型溅射成型设备。SRV4310,SRV6310,SRV7310
4,在线型溅射成型设备。
5,卷取式溅射成型设备。SDR系列
6,超高真空溅射设备设备。STM2323
7,研发用溅射成型设备。SRL3320,SDL4320,STL5520
8,标准气相沉积设备。AMF-C850SPB,AMF-C1065SPB,AMF-C1275SPB,AMF-C2280SPB
9,气相沉积设备。AAMF-C1065SBR,AAMF-C2265SBR
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