的空间分辨率
使用分析条件束流,引以为傲的二次电子图像分辨率。(加速电压10kV时,20nm@10nA//50nm@100nA/150nm@1μA)。与原来的电子枪(CeB6、钨灯丝)的结果相比,一目了然。
由于可用更大的束流得到与原来电子枪相同分辨率的图像,所以可进行更高灵敏度的X射线分析。 更加值得注意的是,束流为1μA时的SEM图像。能够得到1μA以上束流,而且可以压缩到如此细的岛津产品只有EPMA-8050G。

各种电子枪产生电子束的特性比较(加速电压10kV)
大束流更高灵敏度分析
场发射类型的SEM、EPMA可实现其他仪器所不能达到的大束流(加速电压30kV时可达3μA)。在超微量元素的检测灵敏度上实现了质的飞跃,将元素面分析时超微量元素成分分布的可视化成为现实。而且,所有束流范围内不需要更换物镜光阑,不用担心合轴,实现了高度自动化分析。
面的3个图像为不同束流下,对不锈钢中约1%左右Si进行面分析的结果※。束流越大,偏差越小,越能更加清楚的确认包含Si的范围。
※ 分析条件:加速电压10kV,积分时间50msec。分析花费时间约1小时。



全部分析操作简单易懂
全部操作仅需一个鼠标可实现的可操作性、追求「易懂」的人性化用户界面、搭载导航模式等多个新功能,将「简单易懂操作」成为现实。无论是初学者还是专家级用户都可进行得心应手的操作分析。
● 从样品导入到生成分析报告,操作方便。
● 即便是次使用也可轻松进行样品定位SEM观察。
● 的可操控性,大大提高分析准备工作的效率。
● 视觉上追求「易懂」的人性化用户界面。
● 搭载导航模式,自动指引直至生成分析报告。
