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ME-L 是一款科研级全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪，凝聚了颐光科研团队在椭偏技术多年的研发投入，其采用行业前沿的创新技术，包括消色差补偿器、双旋转补偿器同步控制...
Mapping系列光谱椭偏仪是全自动高精度Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，配置全自动Mapping运动机构，通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实...
SR-Mapping反射膜厚仪是超快速薄膜表征仪器，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱，从而测量薄膜的厚度及光学常数。
SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。
半导体复杂膜层在线量测解决方案。
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