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产品简介

全自动双轴切割系统ADT8020切割机有两个对向的主轴，可同时切割晶圆，且产量高

详细介绍

全自动双轴切割系统

ADT 8020切割机有两个对向的主轴，可同时切割晶圆，且产量高。这种高精度系统可切割直径8"的工件，性能高，运行成本低。

特点和优点

灵活：支持3"外径的有轮毂和无轮毂刀片
1.8kW或2.2 kW高功率主轴（适合严苛应用）
高级视觉系统，支持连续变焦缩放
19英寸触摸屏显示器，直观操作界面

易于使用

8020使用ADT直观的新图形用户界面（NUI）进行操作，配备了两个触摸屏：19"主屏幕和17"维护屏。维护屏协助执行系统设置过程、刀片更换和基本的维护操作。

其它主要特性

气悬浮轴（X）
快速自动对齐和切割定位，提高产量
自动刀痕检测和质量分析，实现精度
流程数据记录和统计分析
使用锁定式主轴，更换刀片快速简单
SECS/GEM平台就绪

可接近系统所有区域，便于维护

主要应用

硅圆片/分立器件
碳化硅（SiC）
微机电系统（MEMS）
表面声波元件
玻璃晶片
封装（QFN、LED等）

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