广州文明机电有限公司
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JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后，能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品，为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D
JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后，能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品，为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D观察功能、自动TEM样品制备功能，能对应多种制样需求。
高性能FIB镜筒
JIB-4000PLUS采用高性能的FIB镜筒，离子束流高达 60 nA，可以扩展到90nA大束流（为可选件），能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨，100 μｍ以上的大截面也可以在短时间内制成。
图1 100μm 直径焊料凸块的截面制备和截面观察
用户友好的FIB装置
JIB-4000PLUS高性能的 FIB镜筒具有出色的可操作性，外观和GUI设计都很友好。 即使没用过FIB也能够轻松操作； 此外，该装置小巧紧凑为业界最小体积，安装场所的选择范围很大。
双样品台
JIB-4000PLUS标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用，此外还可以增配侧插式测角台（TEM用Tip-on 样品架可以直接插入）。侧插式测角台与JEOL的TEM系统通用，这样，FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行。
3D观察功能
为了进行3D观察，设备标配连续切片截面观察功能。JIB-4000PLUS虽然是单束FIB，但是可以通过SIM像进行3D观察。用3D重构软件，可以将收集到的截面图像重建为3D图像，可以从各种角度显示3D图像。
图2 CCD imaging center 的3D重构图
自动TEM制样功能
自动TEM制样功能 "STEMPLING" 是选配件。有了这个功能，制样不需要有很高的技能，任何人都能简单地制样，也可以对多个样品自动制样，提高工作效率。
图3 自动TEM制样功能 (STEMPLING) 的加工例 样品：焊料
丰富的附件
有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统，对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件，该系统可以支持样品制备以外的应用。
产品规格
FIB
| 离子源 | Ga （镓）液态金属离子源 |
| 加速电压 | 1～30ｋV |
| 放大倍率 | ×60 （用于视场搜索） ×200～×300,000 |
| 图像分辨率 | 5 nm (30 kV) |
| 束流 | 60 nA (at 30 kV)， 90nA(at 30kV)option |
| 可变光阑 | 12 档(马达驱动) |
| 离子束加工形状 | 矩形、线状、点状 |
| 样品台 | 块状样品用 5 轴测角样品台 X:±11 mm Y:±15 mm Z:0.5 ～ －23 mm T:－5 ～ ＋60° R:360°无限 样品尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ） |
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