“古老”的CO2激光器如何找到新曙光

*，近年来光纤激光器的迅猛发展，正在不断蚕食着CO2激光器的*，特别是在金属加工领域，几年之间，CO2激光器的主力军地位已不复存在。在光纤激光器、碟片激光器、半导体激光器等产品开始大行其道的当下，CO2激光器仿佛正在开始退出历史舞台。

那么，CO2激光器这种古老的激光技术，真的到了要“退休”的时候了吗？事实并非如此。

“事实上，CO2激光器的应用市场并不是越来越小，而是越来越大。 “不可否认，光纤激光器的发展的确对CO2激光器的一些应用市场带来了巨大冲击，但同样不可否认的是，市场上依然有很多应用是其他类型的激光器所不能胜任的，只能使用CO2激光器，比如一些非金属加工应用；与此同时，CO2激光器也在不断开辟出的新应用。”

CO2激光器本身*的波长，使它成为加工一些非金属材料的*。一个zui简单的应用案例是饮料瓶上生产日期等信息的打码，过去这些信息通常是用油墨印刷到饮料瓶上，这种方式既不环保，成本又高，而现在这些信息的打码则越来越多地使用CO2激光器来实现，清洁环保，没有油墨消耗。光纤激光器是无法胜任这项工作的。类似这样的只能用CO2激光器才能实现的应用，还有很多，“目前我们主要侧重的市场就是其他激光器做不了、只能用CO2激光器才能实现的应用。”海容激光说道，“除了市场上已有的一些传统应用外，我们也在不断开发一些的新应用。”

他重点介绍了CO2激光器的三种新应用。*种是光纤激光器的制造。虽然光纤激光器从CO2激光器手中抢走了大量市场，但是现在CO2激光器能够参与到光纤激光器的制造过程中，那么它同样也能从光纤激光器市场的增长中受益。海容介绍说，大功率的光纤激光器，对光纤纯度要求极其苛刻，用传统的火焰方法加工光纤，可能会带入一些杂质到光纤中，因此现在很多客户用CO2激光器来加工光纤激光器中的零件，如拉光纤、光纤连接器等。这对CO2激光器的波长和功率等参数的稳定性要求都是*的。

第二种应用是产生极紫外光。在半导体制造工艺中的光刻环节，过去几十年大多数是通过波长100多纳米的深紫外激光实现的，但是随着摩尔定律的发展，芯片上需要刻划的电路越来越多，要求的精细度越来越高，这需要波长10纳米左右的激光来完成这项任务。“所以客户就用我们的CO2激光器生成等离子体来产生13.5nm的极紫外光。”

海容激光专注于CO2激光器已经有近二十年的历史，“我们拥有若干不同的技术来实现波长、功率、频率等参数的稳定性，同时我们还能实现除了10.6μm之外的一些特殊波长，这些是我们的核心优势。”海容说。激烈甚至残酷的市场竞争，让CO2激光器重新在市场上看到了新的曙光。