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GDR-20PR真空等离子清洗机
- 公司名称：
- 更新时间：
- 所 在 地：
- 生产地址：
- 浏览次数：
- 招远普斯玛等离子技术有限公司
- 2015-11-08 10:47:31
- 烟台市
- 山东省招远市经济技术开发区招金路518号
- 652
【简单介绍】
【详细说明】
◆ 外形尺寸
570（W）×420（D）×740（H）mm
◆ 仓体结构（不锈钢，约20升）
420（W）×270（D）×170（H）mm
◆ 电极面积
250（W） ×190（D） mm,3层
◆ 清洗模式
RIE or DP模式自动转换
◆ 等离子发生器（韩国KM）
频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配
◆ 控制系统
触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件，
性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统
德国莱宝（Leybold）真空泵 D30C （37m3/h）
进口气动角阀、充气阀，德国（Inficon）压力传感器
◆ 压力控制
PID闭环自动稳压控制
◆ 气路系统
2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克（FITOK）气体管路
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