当前位置:宁波润华全芯微电子设备有限公司>>喷胶机>> 喷胶机 ASPAPRAY
设备配置 | 2-4 chamber(option: COT、DEV) |
设备产能 | 20WPH |
衬底材质 | Si、Glass等 |
适用工艺 | 深孔喷胶TSV、高深宽比台阶喷胶. |
工艺指标 | 平面均匀性≤5%@5-10um;台阶覆盖率≥30% |
应用领域 | *封装、MEMS、科研等 |
技术特征 | ◼适用于表面刻有深孔的高表面形貌圆形或方形基片的喷涂工艺要求,超声波雾化光刻胶胶粒,可均匀覆盖台阶表面,边缘,侧壁,底部; ◼喷嘴配有自动清洗功能; ◼设备可配置匀胶腔体和显影腔体。 |
设备尺寸 | 2665*1724*2432mm(W*D*H) |
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