气流循环装置：内置空调间、循环风道及通风电机

单片湿法刻蚀设备，能适应HF,HCL,H3PO4等多种刻蚀液，可刻蚀金属有Gr、Ni、Ti、Cu、Au等

专用喷胶设备，适用于表面刻有深孔的高表面形貌圆形或方形基片的喷涂工艺要求，旋流式锥形雾化，可均匀覆盖台阶表面，喷嘴有自动清洗功能

见详情表格晶片尺寸2-9英寸

设备自动完成去胶、剥离工艺，药液可循环利用，可配置去胶单元、清洗单元、浸泡单元，基片采用边缘夹持接触方式，采用扇状喷液方式，可保证去胶效果的一致性；浸泡单元采用...

手动上片后完成去胶、剥离工艺，再手动下片

手动上、下片

整体叠层布局，结构紧凑，节省机台占地空间；匀胶、显影每层2个单元，烘烤热处理单元采用4列布置方式，与工艺单元相对称，每列放置单元数可达5个，且各单元有独立排风系...

Mini型全自动匀胶显影一体设备，采用我司自主研发设计的机器人与胶泵，并在客户端成熟应用

高产能机台结构紧凑，占地面积小，布局采用的分体式结构，高速机器人在工艺单元间传递，同时工艺单元中采用共用摆臂结构，使单元结构尺寸大幅减小，单元配置更加灵活；另外...

设备采用高效机械手，重复定位精度高、产能高，自动完成匀胶、显影工艺；配备烘烤及冷却单元，工艺参数数字化检测控制，自由编制、修改、储存、调用工艺程序；故障、生产工...