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陶瓷基板激光打孔机

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更新时间：2023-09-09 10:44:26浏览次数：258次

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广东国玉科技股份有限公司

经营模式：其他

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产品简介

陶瓷基板激光打孔机是目前应用较为广泛的陶瓷基板打孔设备，它具有高精度、高效率、非接触等优点，可以实现微米级别的孔径和孔距控制，适用于各种陶瓷基板的精密打孔需求。

详细介绍

LTCC、HTCC 的生瓷基板加工。

自动上下料系统、视觉对位系统，激光打孔系统、冷却系统、吸尘系统、软件控制系统等。

名称	规格
单平台尺寸	≥300mm*300mm
激光可加工区域	≥280mm*280mm
激光波长	355nm
激光平均功率	≥15W
单脉冲能量	≥300μJ
脉冲宽度	＜25ns
X/Y/Z轴重复精度	±1μm
生瓷片180mm×180mm范围内通孔位置精度	优于±15μm
CCD对位精度	优于±15μm
下料、上料间隔时间	≤10s
加工速度（双激光头）	≥3600孔/分钟（0.34mm绿色HTCC生瓷片，0.15mm通孔）
通孔锥度	优于94%，（0.34mm绿色HTCC生瓷片，0.15mm通孔）
通孔圆度	优于95%（0.34mm绿色HTCC生瓷片，0.15mm通孔）
最小加工孔径	0.08mm（0.15mm绿色HTCC生瓷片）
加工厚度	1.2mm，上下面尺寸差小于0.03mm(绿色HTCC生瓷片，2mm*2mm方腔)